| 1. Identificação | ||||
| Tipo de Referência | Artigo em Evento (Conference Proceedings) | |||
| Site | mtc-m21c.sid.inpe.br | |||
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | |||
| Identificador | 8JMKD3MGP3W34R/47J9AJ8 | |||
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21c/2022/09.06.12.37 | |||
| Última Atualização | 2022:09.06.12.37.03 (UTC) simone | |||
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21c/2022/09.06.12.37.03 | |||
| Última Atualização dos Metadados | 2022:09.06.12.37.04 (UTC) simone | |||
| Chave Secundária | INPE--PRE/ | |||
| Chave de Citação | SennaSmit:1994:GaDoEt | |||
| Título | Gallium doping for etch stop  | |||
| Ano | 1994 | |||
| Data de Acesso | 18 maio 2024 | |||
| Tipo Secundário | PRE CI | |||
| Número de Arquivos | 1 | |||
| Tamanho | 77 KiB | |||
| 2. Contextualização | ||||
| Autor | 1 Senna, José Roberto Sbragia 2 Smith, R. L. | |||
| Grupo | 1 LAS-INPE-MCT-BR | |||
| Afiliação | 1 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 2 University of California at Davis | |||
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 jose.senna@inpe.br | |||
| Nome do Evento | Meeting of the Electrochemical Society, 185 | |||
| Localização do Evento | San Francisco, CA | |||
| Data | may | |||
| 3. Conteúdo e estrutura | ||||
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz | |||
| Estágio do Conteúdo | concluido | |||
| Transferível | 1 | |||
| Tipo do Conteúdo | External Contribution | |||
| Resumo | Nearly all reported p-typellopant etch stop experimenta to date have betu done exclusively with Bonn. The goal of lhe presented stucly is to verify that the etch step effect in p-type sitiem] is independent of dopam species. The dopant concentradon dependence of the etch rate of Ganhou doped silicon ia KOH solutions is presented and compareci to Borra; The doped samples have beco obtained by ion implantado]; tailored to obtain a quasiuniform Farde appropriate for etch-raw determinations. | |||
| Área | FISMAT | |||
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Gallium doping for... | |||
| Conteúdo da Pasta doc | acessar | |||
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos | |||
| Conteúdo da Pasta agreement |
| |||
| 4. Condições de acesso e uso | ||||
| URL dos dados | http://mtc-m21c.sid.inpe.br/ibi/8JMKD3MGP3W34R/47J9AJ8 | |||
| URL dos dados zipados | http://mtc-m21c.sid.inpe.br/zip/8JMKD3MGP3W34R/47J9AJ8 | |||
| Idioma | en | |||
| Arquivo Alvo | senna_gallium.pdf | |||
| Grupo de Usuários | simone | |||
| Visibilidade | shown | |||
| Permissão de Atualização | não transferida | |||
| 5. Fontes relacionadas | ||||
| Repositório Espelho | urlib.net/www/2017/11.22.19.04.03 | |||
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 | |||
| Acervo Hospedeiro | urlib.net/www/2017/11.22.19.04 | |||
| 6. Notas | ||||
| Campos Vazios | archivingpolicy archivist booktitle callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor format isbn issn keywords label lineage mark nextedition notes numberofvolumes orcid organization pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project publisher publisheraddress readergroup readpermission resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype type url versiontype volume | |||
| 7. Controle da descrição | ||||
| e-Mail (login) | simone | |||
| atualizar | ||||